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　　電子廠廢水處理工藝流程圖講解（電子廠污水處理工藝|方法）

電子工業(yè)高速發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展劇增，相關(guān)化學(xué)品的需求也逐年增多，電子級(jí)磷酸的需求增長(zhǎng)顯著。

　　電子工業(yè)廢水處理工藝是什么？隨著我國(guó)電子工業(yè)的高度發(fā)展，電子工業(yè)廢水處理難度逐漸增加，樂(lè)中環(huán)?？萍夹【幒痛蠹乙黄鹆牧碾娮庸I(yè)廢水處理工藝。

　　一、電子工業(yè)廢水含磷酸廢液來(lái)源

　　電子級(jí)磷酸又被稱為超高純磷酸，是磷酸工業(yè)皇冠上的明珠，主要用于芯片的清洗、蝕刻，其潔凈度和純度對(duì)電子元器件的性能、可靠性及良品率影響很大，例如，在晶圓的加工過(guò)程中，若其被雜質(zhì)污染，將導(dǎo)致集成電路(IC）的產(chǎn)率下降約50%。

　　因此，為了保證產(chǎn)品的可靠性，獲得高產(chǎn)率的大規(guī)模集成電路，電子工業(yè)必須使用高純電子級(jí)磷酸進(jìn)行清洗，并不斷將新電子級(jí)磷酸補(bǔ)充到生產(chǎn)過(guò)程。隨著集成電路規(guī)模逐年增大，含磷酸廢液產(chǎn)生量不斷上升。

　　面板行業(yè)和集成電路行業(yè)是電子工業(yè)的典型代表，電子級(jí)磷酸在其中應(yīng)用廣泛，其實(shí)際的使用工藝有所差別，產(chǎn)生的含磷酸廢液有很多不同特性。

　　二、電子工業(yè)含磷酸廢液的特點(diǎn)

　　面板和集成電路等電子工業(yè)經(jīng)蝕刻或清洗工藝產(chǎn)生的含磷酸廢液的主要成分仍是磷酸（含量≥50%)、硝酸、醋酸的混合物,其中陽(yáng)離子主要有鋁、鉬、銀和其他微量金屬離子。

　　除有無(wú)色透明的以外，該廢液還存在多種顯色形態(tài)，如帶灰色懸浮的、淺藍(lán)色澄清的等。主要原因是在電子工業(yè)中為了提升磷酸蝕刻或清洗效果，添加了抑制劑、分散劑等有機(jī)活性劑成分。

　　三、電子工業(yè)廢水含磷酸廢液提純技術(shù)

　　1、凈化＋蒸發(fā)濃縮技術(shù)

　　對(duì)于低有機(jī)物含磷酸廢液，其中僅含有無(wú)機(jī)酸和有價(jià)金屬陽(yáng)離子。向該廢液中添加雙氧水氧化后,采用無(wú)機(jī)碳化硅陶瓷膜超濾去除懸浮物，再用多效負(fù)壓蒸發(fā)將廢磷酸中的揮發(fā)性醋酸、硝酸脫除并濃縮至大于75%，濃縮后的磷酸經(jīng)沉降再次去除懸浮物，即可滿足《工業(yè)磷酸》(GB/T 2091——2008）的標(biāo)準(zhǔn)，市場(chǎng)價(jià)值居于中位。通常只能選擇石墨作為蒸發(fā)設(shè)備的材料來(lái)應(yīng)對(duì)設(shè)備腐蝕，因此設(shè)備故障率較高。目前，磷酸凈化+蒸發(fā)提濃的工藝要求較高，多數(shù)停留在實(shí)驗(yàn)室階段或由大型磷酸企業(yè)實(shí)施，僅有少部分危險(xiǎn)廢物處理企業(yè)進(jìn)行了應(yīng)用。

　　2、萃取提純＋蒸發(fā)濃縮技術(shù)

　　對(duì)于有機(jī)酸或雜質(zhì)含量較多的含磷酸廢液，可以選擇多級(jí)逆流萃取工藝，由于磷酸與有機(jī)萃取相結(jié)合力不強(qiáng),要投入硫酸促進(jìn)磷酸在萃取段向有機(jī)相轉(zhuǎn)移，并在后端用低濃度稀磷酸進(jìn)行反萃，后通過(guò)100℃左右蒸發(fā)濃縮獲得濃度75%的磷酸，降低對(duì)設(shè)備腐蝕的要求。利用萃取除雜法處理面板行業(yè)產(chǎn)出的含磷酸廢液，研究證實(shí)，磷酸三丁酯/N235/DT-100萃取體系的除雜效果較好，在比較好的條件下，磷酸回收率達(dá)到93.80%，硝酸去除率達(dá)到82.65%。但以萃取為主的提純工藝多見(jiàn)于大型濕法磷酸企業(yè)，主要集中在我國(guó)三四線城市，該磷酸凈化技術(shù)在危險(xiǎn)廢物處理企業(yè)亦不常見(jiàn)。

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